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螺杆真空泵低温板及吸附面的设计

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螺杆真空泵低温板及吸附面的设计

发布日期:2022-03-01 作者: 点击:

螺旋真空泵在运转过程中,随着运行时间的增加,设备周围的温度也在不断升高,此时需要安装有吸附面的低温板,通过吸附、散热等方式降低设备周围的温度。

低温板选材应满足传热率高、机械强度高、发射率低、成本低四个方面的要求。现在普遍使用铝、铜、镀金或镀银。银能产生低氢饱和和蒸汽压。将低温板直接贴紧固定在冰箱的冷头上,为使二者接触良好,二者之间设置了铟垫片。


螺旋真空泵冷盘表面应进行抛光处理,其表面应优于其它电化学抛光面。

低温板的结构设计应满足以下几点要求:

(1)进入隔板的气体可直接冲击到低温板。

(2)可凝性气体不能直接打开吸附面,否则就会占用吸附剂的吸附空间,从而影响到不可凝性气体的抽速。

(3)非可凝性气体打在吸附剂表面,应均匀分布,以免影响抽吸速度和吸附容量。

螺旋真空泵吸附剂的选用要从微观表面积大、导热性能好、吸附量高、再生能力强等方面进行。现在一般认为活性炭,尤其是椰壳活性炭,具有较大的微观表面积和较高的吸附能力,是低温泵较理想的吸附剂。

吸附剂的粘接工艺对泵抽气性能有很大影响。现在主要有三种粘接方法:一是机械式粘合,二是粘结剂粘结,三是等离子喷涂。

使用粘合剂不仅可以堵住部分吸附剂微孔,而且还可以将吸附剂与金属板间的温度差大,从而使吸附表面和金属板之间的温差大。有研究表明,采用3.5%Ag=Zn合金粘结活性炭,在低温下粘结活性炭,在合金熔融后形成3mm厚的板面,这种方法不堵塞活性炭表面的微孔,使活性炭的表面温度低于使用环氧树脂或低温胶。


螺旋真空泵的低温板和吸附面在设计时要考虑多种因素,保证气体可以击穿吸附剂而在选用吸附剂时要注意不堵塞吸附剂微孔,这样才能起到更好的降温效果,从而延长设备使用寿命。


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