韩国干式螺杆真空泵

新闻分类

产品分类

联系我们

地址:青岛市市南区漳州二路19号中环国际广场A座1002
电话:0532-83727559  
传真:0532-83718804
邮箱:kowelchina@163.com
网址:www.kowelchina.com
联系人:
史先生  手机:13371085878

宋先生  手机:18653217732





干螺杆真空泵的现状以及未来展望

您的当前位置: 首 页 >> 新闻中心 >> 行业新闻

干螺杆真空泵的现状以及未来展望

发布日期:2021-05-22 作者:浩瀚网络 点击:

       目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响,一般真空系统不能满足清洁无油的耐腐蚀要求,近年来干螺杆真空泵市场需求量大,真空获得产品已经更新,大量有油真空系统已经被无油清洁真空系统所取代。

       国外几乎每个大型真空公司都生产各种类型的干螺杆真空泵。螺旋真空泵属于非接触式干式泵,是20世纪90年代初出现的理想泵种。它具有抽气范围广、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、使用寿命长、能耗低、无油污染等优点。然而,它的制造技术大多在国外掌握。中国还处于起步阶段,市场上有干式泵。

       目前,各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响,一般真空系统不能满足清洁无油的耐腐蚀要求,近年来干螺杆真空泵市场需求量大,真空获得产品已经更新,大量有油真空系统已经被无油清洁真空系统所取代。

       国外几乎每个大型真空公司都生产各种类型的干螺杆真空泵。螺旋真空泵属于非接触式干式泵,是20世纪90年代初出现的理想泵种。它具有抽气范围广、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、使用寿命长、能耗低、无油污染等优点。然而,它的制造技术大多在国外掌握。中国还处于起步阶段,市场上有干式泵。


干螺杆真空泵



一、干螺杆真空泵的现状。

       由于其优异的性能,干式干螺杆真空泵在欧美和日本已成为微电子、半导体、制药、静谧加工等行业的初选。在螺杆压缩机的基础上,日本很早就开发出了真空泵的多头转子线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐渐开发出等螺距、变螺距的转子线,并对转子和机体的冷却进行了大量的研究。

二、螺旋泵技术关键问题:

1.干螺杆泵结构:

       螺旋真空泵的结构主要由螺旋转子、外壳、冷却循环和密封材料组成。传动轴连接主动转子,通过同步齿轮驱动从动转子的旋转,在外壳上打开冷却水通道,用于冷却转子和排气口的温度,同步齿轮和轴承油润滑。轴承和外壳内部通过密封密封,达到无油效果。干螺旋真空泵与无油螺旋压缩机在密封和润滑方面结构相似。一般真空泵的排气端采用机械密封,进气端采用双唇密封。在传动方式上,目前使用的是直连电机,很少使用皮带或链传动。

       螺距螺杆泵由于没有内压过程,排气温度非常高(110度左右)。如果冷却效果不好,转子和外壳会变形,影响哭泣效果。因此,冷却外壳是必不可少的一环,水冷是一种常见的方法。在外壳本体,轴承外侧通过冷却水,可以达到冷却外壳和冷却转子的目的。莱宝公司在转子内部通水冷却,延长了转子的使用寿命,达到了良好的冷却效果。然而,这种结构设计(两级)需要一定的技术和加工水平支撑。

       由于水冷有时无法达到冷却效果,因此通常在靠近排气端转子的地方通冷却气体(多为氮)。目前国外主流干螺杆真空泵都采用这种方法。该方法具有冷却转子外壳、降低排气温度等优点;其次,当气体中含有微粒时,可防止微粒沉积或化学反应引起爆炸。

2.国内外公司干真空泵生产概况。

  1. (1)塔海尔公司的KDP和SDV系列干螺杆真空泵。塔海尔公司收购了凯尼真空公司。凯尼是美国从事真空获取设备的专业制造公司,在干螺杆真空泵的制造中也处于世界地位。KDP系列是等螺距转子的真空泵,SDV是变螺距螺杆泵,两者都是水冷系统,风冷系统可供选择。SDV是在KDP的基础上进行的改进。变螺距螺杆泵可以实现气体内压缩,降低排气温度,同比节能百分之三十。转子上涂有NiFlon,即层是Ni,二层是PFA。即使PFA磨损,Ni层也可以防腐,同时使用Kalrez全氟橡胶密封圈。SDV系列是凯尼公司推出的干螺杆真空泵。

  2. (2)德国莱宝公司于2002年底正式推出的SREWTINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专为工业应用(非半导体应用)而设计的干式泵,是一种全新的设计,专门用于解决工业应用中的真空问题。比如灰尘,焦油等等。这种泵也采用螺距转子,有内压过程,泵腔内无内阀,因此具有很强的抗粉尘和焦油能力,该泵的螺杆采用内空冷却,可降低转子温度和热变形,从而延长螺杆的使用寿命。

  3. (3)德国徐浦公司的COBRAN系列螺杆泵是制造工艺的真空泵,特别适合化工和制药行业的各种工艺流程。徐浦是世界上真空泵、鼓风机和压缩机的供应商之一。真空泵质量高。与其他制造商相比,它在欧洲的市场份额较高,价格昂贵。

  4. (4)德国里奇乐的VSA/VSB系列。VSA是等螺距转子,市场评价好,性能稳定。VSB系列事件螺距转子设计(非线形齿形设计)可以通过内压改变泵的功耗和排气温度,而不需要两级压缩就可以实现高真空度。在密封方面做了改进。静态密封元件优选PTFE或添加PTFE密封,动态密封元件在真空泵吸入侧使用双密封唇,真空泵排气侧使用简单的密封圈,防止固体物质进入泵。

  5. (5)日本制造商。在日本,干螺杆真空泵的应用非常广泛,半导体和LCD行业得到了广泛的应用,大摇株式会社的吉村将士等很早就在单头等螺杆转子方面申请了zhuanli,并对其进行了深入研究。早些时候,日立公司对螺杆泵进行了研究。



干螺杆真空泵


三、是研究未来展望:

       国内干式干螺杆真空泵的研究还处于起步阶段,许多技术问题尚未解决。例如,转子涂层的防腐技术仍然很难降低排气口的温度,提高转子面积的利用率。当提取一些活性气体时,由于排气温度高,性能也需要在设计中考虑。在需要控制音量的情况下,如何降低噪音将成为研究方向,但其优异的性能决定了它在真空设备行业的主到地位,就像螺杆压缩机在行业中的主到地位一样。

1.干螺杆真空泵的现状。

        由于其优异的性能,干式干螺杆真空泵在欧美和日本已成为微电子、半导体、制药、静谧加工等行业的初选。在螺杆压缩机的基础上,日本很早就开发出了真空泵的多头转子线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐渐开发出等螺距、变螺距的转子线,并对转子和机体的冷却进行了大量的研究。

2.螺旋泵技术关键问题:

干螺杆泵结构:

        螺旋真空泵的结构主要由螺旋转子、外壳、冷却循环和密封材料组成。传动轴连接主动转子,通过同步齿轮驱动从动转子的旋转,在外壳上打开冷却水通道,用于冷却转子和排气口的温度,同步齿轮和轴承油润滑。轴承和外壳内部通过密封密封,达到无油效果。干螺旋真空泵与无油螺旋压缩机在密封和润滑方面结构相似。一般真空泵的排气端采用机械密封,进气端采用双唇密封。在传动方式上,目前使用的是直连电机,很少使用皮带或链传动。

       螺距螺杆泵由于没有内压过程,排气温度非常高(110度左右)。如果冷却效果不好,转子和外壳会变形,影响哭泣效果。因此,冷却外壳是必不可少的一环,水冷是一种常见的方法。在外壳本体,轴承外侧通过冷却水,可以达到冷却外壳和冷却转子的目的。莱宝公司在转子内部通水冷却,延长了转子的使用寿命,达到了良好的冷却效果。然而,这种结构设计(两级)需要一定的技术和加工水平支撑。

       由于水冷有时无法达到冷却效果,因此通常在靠近排气端转子的地方通冷却气体(多为氮)。目前国外主流干螺杆真空泵都采用这种方法。该方法具有冷却转子外壳、降低排气温度等优点;其次,当气体中含有微粒时,可防止微粒沉积或化学反应引起爆炸。

       国内外公司生产干螺杆真空泵概况。


相关标签:

最近浏览:

在线客服
分享
欢迎给我们留言
请在此输入留言内容,我们会尽快与您联系。
姓名
联系人
电话
座机/手机号码