干式螺杆真空机组根据不同的工艺和工况有不同的配置，机组配置详细介绍如下：

1、粉尘过滤器，过滤气体中颗粒及粉尘，避免进入泵内造成损坏。滤芯为不锈钢金属网折叠滤芯，过滤精度根据不同环境选定，可以拆卸、清洗，循环使用

2、进气气动球阀，中线对夹式气动球阀；双作用气动执行机构：220v两位五通电磁阀 ，开关型 ，机械式限位开关。

3、 温度变送器，用于传感排气口温度。

4、压差表及压力变送器，检测过滤器滤芯堵塞情况，压差表用于现场显示；

压差变送器用于数据输出过滤器进出气口压差过大时用于应及时清理滤芯，运行中压差要求小于2kpa（建议根据使用过程中确定该值）。

5、夹套式水冷却系统： 功能：通过外接的冷却水将真空泵压缩过程中产生的热量带走，从而降低泵腔温度。

6、氮气吹扫及氮气保护系统，用于泵腔吹扫和机械密封保护。

7、控制系统，用于对整个系统进行控制。

8、根据不同工艺还可配套冷凝、消音器、回收罐、尾凝系统等等配置。

9、还可以和罗茨泵配合使用。